提高载体驱动硅微陀螺灵敏度的方法

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刊名 ：中国惯性技术学报

作者 ：张增平，张福学，乔晓华，张岚

作者单位 ： 内蒙古财经大学 北京信息科技大学

基金 ：国家自然科学基金

出版日期 ：2016.00

ISSN ：1005-6734

中图法分类 ：V241.5

期号 ：第6期

卷号 ：第24卷

关键词 ：陀螺灵敏度；占空比；电容式检测结构；MEMS陀螺

语种 ：中文

收录 ： 中文核心期刊(北大)；EI工程索引(美)；统计源期刊(中信所)；CSCD中国科学引文库(中科院)

类型：期刊论文

摘要 ：载体驱动硅微陀螺是一种利用体微工艺制备的新型电容式振动MEMS陀螺,它安装于旋转飞行器上,利用载体的自旋作为驱动。当载体发生横向转动时,敏感质量受到周期性科氏力的作用,产生振动,从而敏感输入角速度。针 更多

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